Каталог: Техника и технология »•» Технология и оборудование производств

	Данилин, Б.С. Получение тонкопленочных элементов микросхем Серия: Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
	Издательство: М.: Энергия
	Переплет: мягкий; 136 страниц; 1977 г.
	ISBN: [не указан]; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 30.05.2008

Аннотация

В книге в краткой и доступной для читателя форме рассмотрены наиболее широко распространенные вакуумные методы получения тонкопленочных слоев с помощью испарения и конденсации веществ в высоком вакууме и распыления ионной бомбардировкой. Описывается аппаратура для контроля скорости осаждения и толщины тонких пленок, и рассматриваются способы получения требуемой конфигурации тонкопленочных элементов интегральных микросхем.

В продаже  Хочу купить

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать