Каталог: Техника и технология »•» Связь, электроника

	Мартынов, В.В.; Базарова, Т.Е. Том 8. Литографические процессы Серия: Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10 томах
	Издательство: М.: Высшая школа
	Переплет: мягкий; 128 страниц; 1990 г.
	ISBN: 5-06-001080-5; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 28.03.2010

Аннотация

В книге описаны современные методы литографии (фотолитография, рентгенолитография, электронолитография и ионолитография) и изготовления шаблонов при производстве полупроводниковых приборов и ИМС. Рассмотрено используемое автоматическое оборудование. Уделено внимание контролю размеров изделий микроэлектроники. Приведены основные требования электронной гигиены и техники безопасности.

В продаже  Хочу купить

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать