Учебник для радиотехнических вузов и факультетов. В книге рассматриваются вопросы технологии толстых композиционных пленок, вакуумтермической технологии, технологии полупроводниковых микросхем. Значительное внимание уделено ионно-плазменному распылению, как способу получения тонкопленочных микросхем.
Вопросы технологии освещаются с позиций физико-технических процессов, протекающих при изготовлении микросхем.
В продаже
Хочу купить
сейчас этого издания книги в продаже нет
попробуйте поискать другие издания этого произведения при помощи ссылок ниже
или оставьте объявление о покупке или продаже
