В книге описаны основные технологические процессы полупроводникового производства, рассмотрены тенденции и особенности производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхнм, виды механической, химической и электрохимической обработки, изготовление фотошаблонов, процессы фотолитографии, эпитаксии, диффузии, ионной имплантации, испарения и распыления в вакууме, методы защиты поверхности структкур, сборки и герметизации приборов, технологии изготовления структур на полупроводниковых соединениях типа AIII и BV, а также биполярных и МДП интегральных микросхем. Учебник для студентов втузов по специальностям полупроводниковой и электронной техники.
В продаже
Хочу купить
сейчас этого издания книги в продаже нет
попробуйте поискать другие издания этого произведения при помощи ссылок ниже
или оставьте объявление о покупке или продаже