Каталог: Техника и технология »•» Технология и оборудование производств

	ред. Луфт, Б.Д. Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
	Издательство: Радио и связь
	Переплет: мягкий; 136 страниц; 1982 г.
	ISBN: [не указан]; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 13.12.2012

Аннотация

Изложены основы различных химических и физико-химических методов обработки поверхности полупроводников. Описаны методы химико-механического, химико-динамического и плазмохимического травления и полирования монокристаллических подложек из кремния, германия и соединений А3В5, а также химические и электрохимические методики локального травления полупроводников, препарирования кристаллов и эпитаксиальных структур. Систематизированы методы межоперационной и финишной очистки полупроводников от различных загрязнений.

Для инженеров-технологов, занимающихся разработкой и производством полупроводниковых микроприборов и интегральных микросхем.

В продаже  Хочу купить

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать