В данной работе рассмотрены существующие в полупроводниковой технологии способы механической обработки различных полупроводниковых материалов: германия, кремния, арсенида галлия, карбида кремния и др., способы крепления слитков и пластин к подложке и процессы шлифования и полирования пластин, а также используемые полировальные составы. Приведены методы резания слитков на пластины и пластин на кристаллы.
В продаже
Хочу купить
сейчас этого издания книги в продаже нет
попробуйте поискать другие издания этого произведения при помощи ссылок ниже
или оставьте объявление о покупке или продаже