Рассмотрены основные этапы формирования металлических пленок. Достаточно подробно описаны методы нанесения пленок: вакуумное испарение, электролитическое осаждение, катодное распыление. Приведены режимы получения пленок для использования их в технике.
Книга рассчитана на широкий круг специалистов, работающих в области пленочной микроэлектроники, а также на технологов, разрабатывающих процессы создания магнитных интегральных схем. Она может быть полезной для студентов и аспирантов соответствующих специальностей.
В продаже
Хочу купить
сейчас этого издания книги в продаже нет
попробуйте поискать другие издания этого произведения при помощи ссылок ниже
или оставьте объявление о покупке или продаже
