Монография ведущих специалистов США и Японии, в которой рассмотрены вопросы физики, химии и технологии применения плазменной обработки в производстве СБИС. Книга является своеобразной энциклопедией по физике и химии процессов осаждения, литографии и травления с применением ионно-плазменных методов.
Для специалистов в областях физической электроники, физики плазмы и технологии изготовления изделий микроэлектроники, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей.
В продаже
Хочу купить
сейчас этого издания книги в продаже нет
попробуйте поискать другие издания этого произведения при помощи ссылок ниже
или оставьте объявление о покупке или продаже
