Каталог: Техника и технология »•» Технология и оборудование производств

	Папков, В.С.; Цыбульников, М.Б. Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
	Издательство: М.: Энергия
	Переплет: мягкий; 88 страниц; 1979 г.
	ISBN: [не указан]; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 14.01.2009

Аннотация

Рассматриваются вопросы получения гетероэпитаксиальных структур кремния на сапфире и шпинели и формирования на их основе интегральных схем. Изложены современные методы выращивания кристаллов сапфира и алюмомагниевой шпинели, а также методы подготовки диэлектрических подложек к гетероэпитаксии.
Рассмотрены вопросы получения монокристаллических слоев кремния газотранспортными методами, особенности кристаллического строения и электрофизических свойств кремния на диэлектрических подложках. Книгу завершает материал о приборных разработках.

В продаже  Хочу купить

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать