Каталог: Наука, образование »•» Технологии и инженерия

	Чистяков, Ю.Д.; Райнова, Ю.П. Физико-химические основы технологии микроэлектроники
	Издательство: М.: Металлургия
	Переплет: твердый; 408 страниц; 1979 г.
	ISBN: [не указан]; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 15.04.2009

Аннотация

На основе современных представлений классифицированы физико-химические процессы технологии микроэлектроники. Особое внимание уделено трем классам процессов: нарастанию и удалению вещества, перераспределению атомов (ионов) примесей между внешней средой и подложкой. Изложены физико-химические основы процессов эпитаксии и получения тонких пленок, сварки и пайки, механической обработки, механической, очистки поверхности материалов, а также легирования, модифицирования и фотолитографии. Рассмотрены механизмы действия электрических полей и излучений на технологические процессы. Сформулированы критерии, определяющие физико-химический характер протекания различных процессов и качество получаемых изделий.

В продаже  Хочу купить

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать