Каталог: Техника и технология »•» Связь, электроника

	Моряков, О.С. Том 7. Элионная обработка Серия: Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10 томах
	Издательство: М.: Высшая школа
	Переплет: мягкий; 128 страниц; 1990 г.
	ISBN: 5-06-001079-1; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 28.03.2010

Аннотация

В книге описаны процессы воздействия на твердое тело электронных, ионных и оптических пучков, применяемые в микроэлектронике для травления диэлектриков, полупроводников, металлов, и нанесения их тонких слоев на подложки различными методами. Приведены сведения по ионной имплантации и молекулярно-лучевой эпитаксии, разделению материалов, сварке, стимулированию травления, отжигу и закалке. Рассмотрено технологическое оборудование.

В продаже  Хочу купить

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать