Каталог: Техника и технология »•» Связь, электроника

	Зотов, В.В.; Королева, Е.А. Новые применения лучистой энергии в микроэлектронике. Ч. I. Физико-технические основы Серия: Обзоры по электронной технике. Материалы
	Издательство: М.: ЦНИИ "Электроника"
	Переплет: мягкий; 58 страниц; 1981 г.
	ISBN: [не указан]; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 11.03.2015

Аннотация

Аналитический обзор посвящен применению мощного электромагнитного (в основном лазерного) излучения, электронных пучков для локальной термообработки полупроводников, металлов и диэлектриков, образующих элементы микроэлектронных устройств. Рассматриваются механизмы воздействия мощного излучения на материалы, кинетика нагрева и фазовых превращений в структурах, конкретные применения этих явлений в отжиге кристаллографических дефектов, перераспределении примесей, изготовлении простейших структур и приборов, являющихся элементами ИС. Использованы отечественные и зарубежные литературные источники (книги, журнальные статьи, обзоры, патенты) за 1973-1981 гг.

В продаже  Хочу купить

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать