Каталог: Наука, образование »•» Технологии и инженерия

	Двуреченский, А.В.; Качурин, Г.А.; Нидаев, Е.В. Импульсный отжиг полупроводниковых материалов
	Издательство: М.: Наука
	Переплет: мягкий; 208 страниц; 1982 г.
	ISBN: [не указан]; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 04.03.2016

Аннотация

В монографии систематизированы данные по импульсному отжигу полупроводниковых материалов, в основном по отжигу имплантированных ионами слоев наносекундными, миллисекундными импульсами и сканирующими лучами. Основное внимание уделено отжигу радиационных дефектов и кристаллизации разупорядоченных слоев, активации и перераспределению примеси. Приводятся типовые расчеты тепловых полей, их релаксации и описание техники импульсных отжигов. Обсуждаются дискуссионные вопросы о влиянии атермических факторов, выделены нерешенные проблемы, приведены примеры практического использования импульсных обработок.
Монография является введением в новую быстро развивающуюся область - ионно-импульсную модификацию материалов. Она рассчитана на специалистов - физиков и инженеров, занимающихся проблемами твердотельной электроники.

В продаже  Хочу купить

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать