Каталог: Наука, образование »•» Технологии и инженерия

	Валиев, К.А.; Раков, А.В. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
	Издательство: М.: Радио и связь
	Переплет: твердый; 352 страниц; 1984 г.
	ISBN: [не указан]; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 06.06.2016

Аннотация

Излагается физика формирования электронных и ионных пучков малых и средних энергий, а также пучков ультрамягкого рентгеновского излучения. Рассматриваются физические явления, возникающие при взаимодействии пучков указанных типов с веществом. Детально исследуются механизмы экспонирования электронных, ионных и рентгеновских резистов. Описываются численные электронно- и ионно-литографические эксперименты по методы Монте-Карло. Обсуждается физика процесса ионно-лучевого распыления (травления) твердых тел. Излагаются физические основы методы определения субмикронных размеров элементов интегральных микросхем и приводятся примеры решения некоторых метрологических задач.

В продаже  Хочу купить

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать