Каталог: Техника и технология »•» Связь, электроника

	Попов, В.К.; Ячменев, С.Н. Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии
	Издательство: М.: Радио и связь
	Переплет: мягкий; 128 страниц; 1985 г.
	ISBN: [не указан]; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 24.10.2016

Аннотация

Изложены сведения о принципах работы и конструктивных особенностях устройств зондового и проекционного оборудования электронной и ионной литографии. Даны основные понятия электронной оптики, описаны методы расчета аберрационных характеристик электронно-оптических систем с осевой симметрией и с малыми отклонениями от нее. Приведены результаты расчетов.

Для инженерно-технических работников, занимающихся проектированием устройств электронной и ионной литографии, а также специалистов, работающих в смежных областях техники по созданию электронно- и ионнооптических аналитических устройств.

В продаже  Хочу купить

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать