Книга знакомит с технологическим и контрольно-измерительным оборудованием, применяемым в производстве полупроводниковых приборов и твердых схем. Описаны конструкции и приведены основные характеристики наиболее широко используемого в полупроводниковой промышленности оборудования; даются основные сведения по технологии полупроводникового производства. Значительное внимание уделено вопросам механизации и автоматизации полупроводникового производства, перспективным направлением механизации и автоматизации, описаны наиболее характерные комплексно-механизированные линии. Иллюстрирована.
В продаже
Хочу купить
сейчас этого издания книги в продаже нет
попробуйте поискать другие издания этого произведения при помощи ссылок ниже
или оставьте объявление о покупке или продаже