Каталог: Техника и технология »•» Технология и оборудование производств

	Берлин, Е.В. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
	Издательство: М.: Техносфера
	Переплет: твердый; 256 страниц; 2014 г.
	ISBN: 978-5-94836-369-1; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 30.08.2021

Аннотация

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких пленок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

В продаже   Хочу купить

Продавец: electroduga (Москва, RU/77 )   Состояние: новое; В продаже с 30.12.2021 Комментарий: С автографом автора. Условия доставки и оплаты Способы доставки: встреча по договоренности; самовывоз; почтой по предоплате Способы оплаты: наличными; банковской картой; бесплатно Дополнительно: ВНИМАНИЕ! НАЧИНАЯ С ЯНВАРЯ 2021 ГОДА, ПРИ КАЖДОМ ПОВТОРНОМ ЗАКАЗЕ ПОКУПАТЕЛЬ МОЖЕТ ВЫБРАТЬ ДОПОЛНИТЕЛЬНО ЛЮБУЮ КНИГУ СТОИМОСТЬЮ ДО 50 РУБЛЕЙ ВКЛЮЧИТЕЛЬНО. ЭТА КНИГА БУДЕТ ПРИЛОЖЕНА К ЗАКАЗУ АБСОЛЮТНО БЕСПЛАТНО, Т.Е. ДАРОМ. ОБЯЗАТЕЛЬНОЕ УСЛОВИЕ: СУММА ЗАКАЗА НЕ ДОЛЖНА БЫТЬ МЕНЬШЕ 50 РУБЛЕЙ. ДОПОЛНИТЕЛЬНУЮ КНИГУ В ЗАКАЗ НЕ ВКЛЮЧАТЬ! Большинство книг находится на даче под Москвой. Поэтому до... [подробнее]	Цена 800 руб
Продавец: complitkap (Новосибирск, RU/54 )   Состояние: хорошее; В продаже с 30.08.2021 Комментарий: Наклейка Условия доставки и оплаты Способы доставки: почтой по предоплате Способы оплаты: банковской картой Дополнительно: Доставка книг Почтой России заказными бандеролями малой скоростью. Оплата на карту Сбербанка,Открытия.Качественная упаковка гарантируется-40 лет опыта.Фото не высылаем-состояние описываем профессионально.Отправка по вторникам,упаковка заканчивается в понедельник,17-30 Москвы.Специализация-научная,техническая и медицинская литература.Школьная-для участников олимпиад и продвинутых школьников и их ... [подробнее]	Цена 800 руб

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать