В учебном пособии изложены основы процессов фотолитографии для производства изделий электронной техники в строгой последовательности химических и физико-химических обработок. Пособие снабжено необходимым теоретическим материалом, описанием методики проведения практических работ по всему циклу фотолитографии и контролем качества полученного рисунка. В работах используются современные методы исследования, в том числе методы оптимизации и планирования эксперимента. Пособие снабжено большим объемом справочных данных.
Для студентов университетов и других вузов, аспирантов и научных сотрудников, работающих в области полупроводникового материаловедения.
Тираж 50 экз.
Дополнительно: При заказе от 1500 р. отправка Почтой России бесплатно.
При заказе от 5000 р. разовая скидка 15% и отправка Почтой России бесплатно.
За пределы РФ книги не высылаю
Встречи по договоренности исключаются.