Вопросы конструирования и особенности основных видов технологического оборудования полупроводникового производства. Требования к оборудованию и процессам и практические рекомендации по их реализации. Чистота , нагревы, вакуум, выращивание монокристалов, механическая обработка, очистка, дифузия, окисление, имплантации, эпитаксия, фотолитография, осаждение пленок, монтаж ....