Каталог: Техника и технология »•» Технология и оборудование производств

	Бейлин, Е.В.; Сейдман, Л.А. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
	Издательство: М.: Техносфера
	Переплет: твердый; 528 страниц; 2010 г.
	ISBN: 978-5-94836-222-9; Формат: увеличенный
	Язык: русский
	На сайте с 25.05.2012

Аннотация

Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии – реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов.
Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания.
Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок.
Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

В продаже   Хочу купить

Продавец: complitkap (Новосибирск, RU/54 )   Состояние: как новое; В продаже с 14.08.2021 Комментарий: Наклейка Условия доставки и оплаты Способы доставки: почтой по предоплате Способы оплаты: банковской картой Дополнительно: Доставка книг Почтой России заказными бандеролями малой скоростью. Оплата на карту Сбербанка,Открытия.Качественная упаковка гарантируется-40 лет опыта.Фото не высылаем-состояние описываем профессионально.Отправка по вторникам,упаковка заканчивается в понедельник,17-30 Москвы.Специализация-научная,техническая и медицинская литература.Школьная-для участников олимпиад и продвинутых школьников и их ... [подробнее]	Цена 1100 руб
Продавец: vbook (Москва, RU/77 )   Состояние: новое; В продаже с 25.05.2012 Условия доставки и оплаты Способы доставки: встреча по договоренности; самовывоз; почтой по предоплате Способы оплаты: наличными; перевод на банковский счет; почтовый перевод/перевод без открытия счета	Цена 1150 руб

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать