В брошюре рассмотрено современное состояние электронолитографии и пути ее дальнейшего совершенствования. Коротко рассказано об истории развитии. Представлены современные электронно-лучевые установки. Выявлены тенденции развития микролитографии и средств для ее реализации. Дан анализ пределов миниатюризации элементов интегральных схем.