В книге сделан первый и пока единственный обзор практических и теоретических достижений в области создания и применения поликристаллических пленок кремния, германия, теллура, селена и соединений группы AIIIBV в микроэлектронике для изготовления полупроводниковых интегральных схем. Приведены данные по методам получения и кинетике роста, структуре, физическим и химическим свойствам поликристаллических пленок полупроводниковых материалов. Рассмотрены физические методы стимулирования процессов получения тонких пленок с использованием электрического поля, лазерного излучения, электронного облучения, УФ- и СВЧ-полей, ультра- и гиперзвуковых упругих колебаний.
Дополнительно: ОПЛАТА ЗАКАЗОВ:
Перевод на карту Сбер, Тинькофф, Альфа, СБП
100% предоплата, без наложенного платежа.
Цены указаны без учета почтовый расходов и
ДОСТАВКА ЗАКАЗОВ:
МОСКВА - ОТПРАВКА ПО ПОЧТЕ, САМОВЫВОЗА НЕТ!
РЕГИОНЫ РФ - ОТПРАВКА ПО ПОЧТЕ.
ОТПРАВКА ЗА ПРЕДЕЛЫ РФ - НЕТ
Заказ, невыкупленный или неоплаченный в течение 24 часов будет аннулирован.
Книги отправляются заказчику в течение ... [подробнее]