В книге рассматривается комплекс вопросов, связанных с влиянием различных загрязнений на качество кремниевых полупроводниковых приборов и интегральных схем при производстве их по эпитаксиально-планарной технологии. Изложены требования к условиям производства и технологическим средам. Подробно описаны способы обеспечения и контроля чистоты технологических сред и поверхностей изделий при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Дополнительно: Минимальный заказ - 100 рублей (не нужно докупать ненужные книги, просто скажите, что согласны купить эту книгу за 100 рублей). Уважаемые покупатели! НЕ ЖМИТЕ на кнопку "КУПИТЬ СРАЗУ", так как, даже если Вы не купите книгу, продавец заплатит сайту комиссионные. Через кнопку "СПРОСИТЬ" уточните наличие книги, стоимость доставки и др. детали.
Кнопка "СПРОСИТЬ" видна только зарегистрированным пользо... [подробнее]