Рассмотрены физико-технологические основы процессы изготовления интегральных микросхем и формирования сложных пленочных структур элементов интегральных микроэлектронных устройств. Описаны перспективные технологические методы производства интегральных полупроводниковых и гибридных микросхем и микропроцессоров, а также используемое технологическое оборудование. По сравнению с первым изданием (1977 г.) материал значительно обновлен и методически переработан.
Дополнительно: ГРАЖДАНЕ ПОКУПАТЕЛИ! ПРЕЖДЕ, ЧЕМ ОФОРМЛЯТЬ ЗАКАЗ, ПРОЧТИТЕ УСЛОВИЯ!
Если вы особо чувствительны к состоянию книг, то прежде чем, оформлять заказ, выйдите на связь с продавцом, воспользовавшись функцией "СПРОСИТЬ" (только для зарегистрированных пользователей), поскольку ваше понимание "хорошего" и "отличного" может не совпадать с таковым пониманием продавца.
Встреча по договоренности происходит б... [подробнее]