Посвящена вопросам получения фото-, электроно-, и рентгенорезистов и применения их в технологии микроэлектронных изделий. Приведена классификация регистрирующих защитных материалов, изложены основные химические и физико-химические принципы их создания. Рассмотрены свойства различных типов фото-, электроно- и рентгенорезистов и особенности их применения, а также перспективы дальнейшего развития техники защитных материалов.
Для инженеров-технологов, специализирующихся в области химической технологии микроэлектроники.
Дополнительно: Уважаемые покупатели на выкуп заказа отводиться семь дней с момента подтверждения наличия книги, по истечении данного срока заказ анулируется. При заказах на сумму более 5000 р. возможен прием оплаты от организаций по безналичному расчету.