Каталог: Наука, образование »•» Технологии и инженерия

	Аброян, И.А.; Андронов, А.Н.; Титов, А.И. Физические основы электронной и ионной технологии
	Издательство: М.: Высшая школа
	Переплет: твердый; 320 страниц; 1984 г.
	ISBN: [не указан]; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 23.10.2012

Аннотация

В книге изложены физические основы взаимодействия ионов и электронов с веществом; рассмотрены возможности применения этих процессов в технологии изготовления приборов, интегральных микросхем на основе полупроводниковых и пленочных материалов и др.

Содержание.
Основные явления при взаимодействии ускоренных электронов и ионов с твердым телом.
Движение ускоренных электронов в веществе.
Образование радиационных дефектов при облучении ионами.
Изменение электрических свойств твердых тел в результате ионной бомбардировки. Ионная имплантация в полупроводники.
Модификация свойств твердых тел ионной бомбардировкой.
Распыление твердых тел ионами.
Движение ускоренных электронов в веществе.
Основы электронно-лучевой обработки материалов.

В продаже   Хочу купить

Продавец: wowik (Томск, RU/70 )   Состояние: хорошее; В продаже с 30.12.2017 Комментарий: пожелтевший обрез Условия доставки и оплаты Способы доставки: почтой по предоплате Способы оплаты: банковской картой Дополнительно: При заказе от 1500 р. отправка Почтой России бесплатно. При заказе от 5000 р. разовая скидка 15% и отправка Почтой России бесплатно. За пределы РФ книги не высылаю Встречи по договоренности исключаются.

Цена 190 руб

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать