Изложены основы квантовой механики,фрактальной геометрии и фрактальной физики,нелинейной динамики.Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро-и наноэлектроники:получение тонкопленочных структур,создание и перенос литографического изображения,методы модификации поверхностных и объемных структур,основы и методы контроля и метрологии.
Для студентов высших учебных заведений.