Излагается технология нанесения многослойных в многокомпонентных высококачественных покрытий, применяемых в радиотехнике, вычислительной и измерительной технике, технике СВЧ. Решаются вопросы нанесения покрытий с заданным профилем. Предлагаются методы получения особо чистых вакуумных покрытий и указаны условия, при которых эти покрытия имеют заданные электрофизические свойства.
Для инженерно-технических работников, специализирующихся в области разработки и технологии пленочных микроэлектронных приборов, а также для специалистов в области техники нанесения особо чистых покрытий.
Дополнительно: Уважаемые покупатели на выкуп заказа отводиться семь дней с момента подтверждения наличия книги, по истечении данного срока заказ анулируется. При заказах на сумму более 5000 р. возможен прием оплаты от организаций по безналичному расчету.