Рассмотрены научные, организационные и технические основы разработки прецизионного технологического оборудования для микроэлектроники. Указаны пути обеспечения производительности оборудования, удовлетворяющей требованиям массового производства при микронных и субмикронных точностях перемещений и оптического разрешения. Приведено описание современного прецизионного оборудования для производства интегральных схем. Для инженерно-технических работников, разрабатывающих и эксплуатирующих прецизионное оборудование в электронной промышленности.
Дополнительно: Доставка в Москве может быть бесплатной (попутная) или платной в зависимости от личных договоренностей.
По стране – доставка по тарифам Почты России + стоимость усиленной упаковки (в зависимости от книги и способов, требующихся для ее сбережения)
Уважаемые покупатели! Обращаю ваше внимание, что цена книги указана для покупки в Москве, на условиях самовывоза или личной встречи, без специально орг... [подробнее]