В книге освещены основные принципы фотолитографии. Рассмотрены свойства фоторезистов, способы получения фотошаблонов, процессы воспроизведения изображений элементов микросхем, применение голографических методов в фотолитографии. Книга рассчитана на инженерно-технических работников, занимающихся разработкой и производством полупроводниковых приборов и интегральных схем.